真空度控制采用更加精确的方式，可达到负+/-0.1千帕(KPa) 级别的控制精度;

通过精密比例阀及自反馈真空仪表实现“弱真空”的精确调节;

所有进水路都设有精确控制与监测装置;

入口特别设计预冷却系统;

机架结构可采用可横向移动式，方便拆卸主机螺杆。